飛納掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡有較高的放大倍數(shù)，2-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；試樣制備簡單。目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。
飛納掃描電鏡對于從高功率到低功率的連續(xù)觀測，放大倍數(shù)的變化范圍非常大，并且不經(jīng)常需要焦點掃描電鏡放大倍數(shù)范圍廣（連續(xù)可調(diào)5-20萬倍），一次聚焦后可連續(xù)觀察從高到低、從低到高，無需再聚焦，特別便于事故分析。
因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。掃描電鏡同其他方式的電子顯微鏡比較，由于用于觀察的電子探針電流小，電子探針的束斑尺寸?。ㄍǔ?nm到幾十納米），電子探針的能量也小（加速電壓可以小到2KV）此外，它不會在固定處照射樣品，而是通過光柵掃描照射樣品因此，對一些生物樣品進(jìn)行觀察是非常重要的，因為樣品的損傷和污染程度都很小。
在掃描電子鏡中，成像信息主要是電子信息根據(jù)現(xiàn)代電子工業(yè)的技術(shù)水平，即使是高速變化的電子信息，也能不費(fèi)吹灰之力地及時接收、處理和儲存因此，可以進(jìn)行一些動態(tài)過程觀測如果樣品室配有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕附件，則可通過電視裝置觀察相變和斷裂強(qiáng)度的動態(tài)變化過程。
